真空開(kāi)關(guān)真空度檢測(cè)方法及注意事項(xiàng)
真空度降低的原因
滅弧室內(nèi)部材料含氣釋放
滅弧室漏氣:滅弧室密封質(zhì)量、機(jī)械沖擊
真空度檢測(cè)方法:
火花計(jì)法-淮確度低,人為、環(huán)境影響因素大)觀察法一準(zhǔn)確度低,人為、環(huán)境影響因素大交流耐壓法-無(wú)法定量,不能作出預(yù)判斷。真空度測(cè)試儀法
真空度在線監(jiān)測(cè):電光變換法、耦合電容法、壓力傳感法。
真空度測(cè)試儀基本原理
磁控放電法-高壓脈沖和磁場(chǎng)脈沖同時(shí)作用于真空滅弧室,使之內(nèi)部產(chǎn)生脈沖磁控放電現(xiàn)象,產(chǎn)生離子電流,測(cè)量離子電流并與己知的電流-真空度曲線比較,得出真空度。
各廠產(chǎn)品差別
離子電流取值方法-峰值方法、積分方法
磁場(chǎng)線圈形式一固定式、纏繞式、對(duì)折式。
內(nèi)存曲線數(shù)量一粗分、細(xì)分
測(cè)試精度問(wèn)題
前測(cè)量范圍0-10-4Pa,可達(dá)到10級(jí)。
現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試注意事項(xiàng)
滅弧室表面應(yīng)擦拭干凈
磁場(chǎng)線圈盡量貼近滅弧室
連續(xù)重復(fù)測(cè)試同一滅弧室,數(shù)據(jù)可能不準(zhǔn)
測(cè)試完成后,真空開(kāi)關(guān)真空度測(cè)試儀應(yīng)放電。
測(cè)試結(jié)果處理建議
不能完全排除交流耐壓試驗(yàn),應(yīng)結(jié)合使用
測(cè)試結(jié)果10-4Pa數(shù)量級(jí)及以下,合格
測(cè)試結(jié)果在10-3Pa數(shù)量級(jí),加強(qiáng)監(jiān)測(cè)
測(cè)試結(jié)果10-2Pa數(shù)量級(jí)及以上,建議更換。